《半导体制造工艺控制理论》

书名：《半导体制造工艺控制理论》

CIP：2018074432

作者：王少熙等著

出版地：西安

出版时间：2018.5

出版价格：48元

稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工序能力指数，常规过程控制技术，特殊过程控制技术，实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。